金华富芯微纳电子申请MEMS压力传感器及其制备方

发布时间:2026-02-21 20:02

  金融界2025年7月19日动静,国度学问产权局消息显示,金华富芯微纳电子科技无限公司申请一项名为“MEMS压力传感器及其制备方式”的专利,公开号CN120333661A,申请日期为2025年03月。专利摘要显示,本申请涉及一种MEMS压力传感器及其制备方式,属于微机械加工手艺范畴。该传感器包罗基底,设置于基底的一侧概况的带有空腔的硅片杯状布局层,第一绝缘层及设置于上述第一绝缘层上述基底一侧概况的缓冲层,第一缓冲层为氧化镁缓冲层,第二缓冲层为氮化铝缓冲层。该第一缓冲层取该第二缓冲层通过提高传感器的热不变性进而改善器件的电学机能,全体上提高了MEMS压力传感器的电学机能、天眼查材料显示,金华富芯微纳电子科技无限公司,成立于2023年,位于金华市,是一家以处置专业手艺办事业为从的企业。企业注册本钱10000万人平易近币。通过天眼查大数据阐发,金华富芯微纳电子科技无限公司专利消息4条,此外企业还具有行政许可1个。本平台仅供给消息存储办事。谷爱凌称已不再奢望别人理解本人,不懂的永久不会懂;“我想晓得为什么老是如许,我也不是居心要吓大师”1951年,意愿军官兵撞见50名熟睡的美军士兵,刚要脱手射击,就被排长喝止:“不准!”Nova Lake-S将于27年CES取消费者碰头:史上最强酷睿反面硬刚AMD Zen 6!